Microscopio de Barrido de Emisión de Campo JSM-7401f
Cañon de emisión de campo en frio (cold FE) de 30 kV
Resolución: 1.0nm (15kV)
1.5nm (1.0kV)
Voltaje acelerador: 0.1 a 30 kV
Detectores de electrones secundarios y retractable de retrodispersados
Detectores “in-lens” con filtro “r”
Modo haz atenuado (gentle beam)
Detector de modo STEM
Sistema EDS
